第九四一章 京城半导体设备公司（中）（2 / 2）

硅晶圆研发，陈伟长团队可以开始与ArF准分子激光器相配套的光学镜头研发。

BSEC将成立光刻机半导体研究院，下设九所一部，即光刻机光源研究所、光刻机光学系统研究所、硅晶圆研究所、光刻机精密设备研究所、刻蚀机研究所、光刻机热处理研究所、光刻胶研究所、掩膜版研究所、离子注入机研究所和光刻机半导体信息部。

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